真空工具 SRS RGA100，UGA100，CIS200，PG108等。

残余气体分析仪

残余气体分析仪SRS 有卓越的表现。 这些RGAS提供了真空系统的详细气体分析。 每个RGA系统都配有一个四极杆传感器、一个电子控制单元(ECU)和一个用于数据收集和分析以及传感器控制的Windows实时软件包。

模型: RGA100，RGA200，RGA300。

大气采样系统

SRS大气采样系统 是一个高效和成本效益的解决方案，广泛的应用。 这些设备简化了操作过程监控、气体分析、泄漏检测和故障排除的任务。

模型: UGA100，UGA200，UGA300，ULT100，ULT200，ULT300，QMS100，QMS200，QMS300。

过程监控系统

过程监控系统SRS 是为连续监测和诊断过程而设计的。 这些是现代设备，用于实时监测和控制工艺过程，在使用地点检查工艺气体的纯度，在高真空下分析残余气体，并检查工艺设备的密封性。

模型: UGAPM100，UGAPM200，UGAPM300，PPR100，PPR200，PPR300，CIS100，CIS200，CIS300。

离子压力表控制器

离子压力表控制器SRS 是一种高精密仪器，提供压力测量和过程自动化以前在一个设备中不可用。 他们测量Bayard-Alpert电离压力表，带对流放大的Pirani压力表和容量压力表的压力，提供连续的压力测量。

模型: IGC100，PG108，GR-100F，GW-100F，NR-F，NR-F-UHV，NW-F-UHV。

二元气体分析仪

二元气体分析仪SRS 快速，连续和非侵入性地确定二元混合物中气体的比例或检查单个气体的纯度。 它们非常适合各种应用，包括二元气体混合，PSA（变压吸附），氦气提取，臭氧纯度，合金杂质和载气，以及需要精确测量气体混合物的一般研究。 二元气体分析仪无需激光器、灯丝、化学传感器、光源、分离柱、参考气体或试剂，几乎不需要维护。

模型: BGA244．